超高分辨率冷場(chǎng)發(fā)射
為充分發(fā)揮超高分辨的能力，放大倍率也從過(guò)去的100萬(wàn)倍提升到200萬(wàn)倍
?沿用"SU8200系列"的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍
?采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間，使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的優(yōu)質(zhì)性能
?(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
?采用污染小、高真空樣品倉(cāng)
?運(yùn)用能量過(guò)濾器(選配)，可觀察到多種成分對(duì)比度
| 項(xiàng)目 | 內(nèi)容 |
|---|---|
| 二次電子分辨率 | Regulus 8100：0.7 nm（加速電壓15 kV）；0.8 nm（著陸電壓1 kV） Regulus 8220/8230/8240：0.6 nm（加速電壓 15 kV）；0.7 nm（著陸電壓 1 kV） |
| 著陸電壓 | Regulus 8100：0.1～2 kV Regulus 8220/8230/8240：0.01～20 kV |
| 放大倍率 | Regulus 8100：20～1,000,000倍 Regulus 8220/8230/8240：20～2,000,000倍 |
| 樣品臺(tái)控制 | Regulus 8100：3軸馬達(dá)臺(tái)（可選5軸馬達(dá)臺(tái)） Regulus 8220/8230/8240：5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng) |
